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发明名称
摘要
申请公布号	JP5212596(B2)	申请公布日期	2013.06.19
申请号	JP20070136383	申请日期	2007.05.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/336;C08G73/10;H01L21/312;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/30	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
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