利用受控的固体形态学的流体的基于固体前体的传送

摘要

本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。

主权项

一种与含固体来源试剂组合的汽化器，所述汽化器包含汽化器容器，该容器定义至少一埠，定义密闭内体积，在内体积内包括含固体来源试剂，并在所述内体积内包括如下的与来源试剂和汽化器容器接触的内部结构，其中所述内部结构包括多个承载所述来源试剂的可垂直堆叠的托盘；和其中所述含固体来源试剂包括外硬块部分，该外硬块部分是通过热处理在一个或多个所述多个可垂直堆叠的托盘中的所述含固体来源试剂形成的，其中所述含固体来源试剂可加热以产生来源试剂蒸气，以在汽化器容器的分配操作中从该汽化器容器排出，其中所述硬块部分的硬块包括所述来源试剂的外部部分，其具有与所述来源试剂的内部本体部分形态不同的形式，其中所述外部部分具有熔融的、连续的特性，而不是所述内部本体部分的颗粒或粒子特性。