三维测量装置

摘要

本发明提供一种三维测量装置，其中，在采用相移法而进行三维测量时，能谋求测量精度的提高，并且能谋求测量时间的缩短。基板检查装置包括：对印刷电路板照射条纹状的光图案的照射装置；对其摄像的照相机；根据图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括光源与液晶快门，该液晶快门形成用于将该光变换为条纹状的光图案的光栅。控制装置在第1照射装置的第1光图案的条件下进行第1摄像处理，在其结束的同时，开始液晶快门的光栅切换，在不等待该光栅切换完成的情况下，在第2照射装置的第2光图案的条件下进行第2摄像处理，在其结束的同时，开始液晶快门的光栅切换，在不等待该光栅切换完成的情况下，进行下一第1摄像处理。

主权项

一种三维测量装置，其包括：第1照射机构，该第1照射机构具有发出规定的光的第1光源与第1光栅，该第1光栅将来自该第1光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第1光图案，该第1照射机构能将该第1光图案从第1位置照射到被测量物；第1光栅控制机构，该第1光栅控制机构控制上述第1光栅的移送或切换，多次地改变从上述第1照射机构照射的上述第1光图案的相位；第2照射机构，该第2照射机构具有发出规定的光的第2光源与第2光栅，该第2光栅将来自该第2光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第2光图案，该第2照射机构能将该第2光图案从不同于上述第1位置的第2位置照射到被测量物；第2光栅控制机构，该第2光栅控制机构控制上述第2光栅的移送或切换，多次地改变从上述第2照射机构照射的上述第2光图案的相位；摄像机构，该摄像机构能对反射光进行摄像，该反射光来自照射了上述第1光图案或第2光图案的上述被测量物；图像处理机构，该图像处理机构依据多个图像数据通过相移法进行三维测量，该多个图像数据依据相位多次发生变化的上述第1光图案或第2光图案的照射而获得，其特征在于，进行第1摄像处理或第2摄像处理中的一个摄像处理，在上述其中一个摄像处理结束的同时，开始进行该一个摄像处理相关的上述第1光栅或上述第2光栅的移送或切换处理，能在不等待上述移送或切换处理完成的情况下，进行上述两 个摄像处理中的另一摄像处理，上述第1摄像处理为，照射上述相位不同的多个第1光图案而进行的多次摄像处理中的一次，上述第2摄像处理为，照射上述相位不同的多个第2光图案而进行的多次摄像处理中的一次。