用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构

摘要

本实用新型涉及一种用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，包括不锈钢桶，在不锈钢桶内侧设置外保温层，在外保温层内侧设置内保温桶，在内保温桶的内腔中设置鸟笼式发热体，在鸟笼式发热体的下方设置下隔热屏，在鸟笼式发热体的内腔中设置坩埚，该坩埚由底部的坩埚支撑结构支撑；在所述坩埚上端设置坩埚盖，在坩埚盖上放置上隔热屏；其特征是：所述内保温桶由上部的钼段、中部的钨段和下部的钼段连接而成。所述坩埚支撑结构包括坩埚托盘和钨管，坩埚托盘置于钨管之上，坩埚托盘与坩埚的底部接触，在坩埚托盘与坩埚的接触部分设置氧化锆涂层。本实用新型所述的单晶炉热场结构，温场分布均匀稳定、温度梯度小，解决了坩埚与托盘之间的粘连问题。

主权项

一种用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，包括不锈钢桶（8），在不锈钢桶（8）内侧设置外保温层（7），在外保温层（7）内侧设置内保温桶（6），在内保温桶（6）的内腔中设置鸟笼式发热体（1），在鸟笼式发热体（1）的下方设置下隔热屏（5），在鸟笼式发热体（1）的内腔中设置坩埚（10），该坩埚（10）由底部的坩埚支撑结构支撑；在所述坩埚（10）上端设置坩埚盖（2），在坩埚盖（2）上放置上隔热屏（3）；其特征是：所述内保温桶（6）由上部的钼段、中部的钨段和下部的钼段连接而成。