一种过滤装置

摘要

本实用新型涉及硅片湿法处理领域，具体公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，排液口接头的一端连接排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，过滤件设置在进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。本实用新型通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎片后做维修时，只需对过滤装置进行维修、清理或更换，而不需要对过滤装置之后的阀做维修，这样降低了维修时间和维修成本，提高了阀的使用寿命。

主权项

一种过滤装置，其特征在于：包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，所述排液口接头的一端连接所述排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，所述过滤件设置在所述进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。