卡匣检测装置和卡匣

摘要

本实用新型公开了一种卡匣检测装置和卡匣。该卡匣检测装置包括：发射第一信号的发射部件、接收第一信号并将第一信号转换成第二信号的接收部件、接收部件信号处理模块和根据信号处理模块得出的卡匣支撑部件下垂的检测结果进行提示的提示模块；发射部件设置于卡匣支撑部件的一侧，接收部件设置于卡匣支撑部件的另一侧，发射部件和接收部件相对设置，信号处理模块和接收部件电连接，提示模块和信号处理模块电连接。本实用新型实现了能够检测出卡匣支撑部件下垂，避免了因卡匣支撑部件下垂而导致的机械手碰撞衬底基板的情况，从而避免了衬底基板破碎以及机械手受到损伤，避免了经济损失以及提高了生产效率。

主权项

一种卡匣检测装置，其特征在于，包括：发射第一信号的发射部件、接收所述第一信号并将所述第一信号转换成第二信号的接收部件、接收部件卡匣信号处理模块和根据所述信号处理模块得出的卡匣支撑部件下垂的检测结果进行提示的提示模块；所述发射部件设置于所述卡匣支撑部件的一侧，所述接收部件设置于所述卡匣支撑部件的另一侧，所述发射部件和所述接收部件相对设置，所述信号处理模块和所述接收部件电连接，所述提示模块和所述信号处理模块电连接。