一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置

摘要

本实用新型系提供一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置，它与光伏玻璃的表面相对地设置，同时，在与上述光伏玻璃相对的表面上设置多个孔，通过这些孔将从气体混合腔室送出的多种成膜气体同时供给上述光伏玻璃，该气体喷头本身就是多孔金属板，在混合腔室上设有冷却腔室，并通入冷却水，使整个金属构件达到冷却的效果，同时也对金属板上层的紧固的绝缘板冷却，不会产生热变形的现象，同时也对金属板上层的紧固的绝缘板冷却，不会产生热变形的现象。

主权项

一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置，其包括腔室上盖、两个气体导入口、冷却水腔室、冷却水进水口、冷却水出水口、气体混合腔室、喷头金属板及隔板所组成。