新型硅片研磨液的搅拌装置

摘要

本实用新型公开了一种新型硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端，所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接，由于所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接，搅拌时，通过搅拌片边缘的圆弧凸面与搅拌片进行搅拌，形成纵向与横向搅拌，不仅增加了搅拌面积，且改变颗粒物的流向，从而，使研磨液内的颗粒物分散更加均匀，大大提高了硅片的切割质量。

主权项

新型硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端，其特征在于，所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接。