在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法

摘要

本发明公开了一种在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法，具体是利用等离子体化学气相沉积技术，在内表面制备高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性和低粘着力的类金刚石薄膜的方法。本发明能够在发动机缸套、储油罐内壁、排气管道、消音器等内壁沉积高结合力类金刚石薄膜。

主权项

一种在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法，其特征在于该方法步骤为：A金属管工件首先经行常规除油清洗；B清洗后的金属管工件直接放入高功率脉冲电源的真空沉积室并将真空室预抽至2.0x10‑3Pa以下；C将金属管工件在Ar等离子体中进行清洗，时间10～20分钟；高功率脉冲偏压1000～2000VD清洗完毕后将甲烷或乙炔流量逐渐加大，Ar气流量保持不变，最终保持Ar气和甲烷或者乙炔的比例为1∶1到1∶5之间，保持高功率脉冲偏压为800～2000V；持续30～120分钟后关闭电源和真空系统；自然冷却后在管道内壁得到高结合力类金刚石薄膜。