| 发明名称 | 基板干燥的装置与方法 | ||
| 摘要 | 一种应用异丙醇(IPA)进行基板干燥的方法，包括：前阶段，在所述前阶段中向基板底面喷射热流体以提高该基板的温度，与此同时向基板上表面喷射有机溶剂、并向该表面喷射干燥气体以改善所述有机溶剂的汽化能力；后阶段，在所述后阶段中停止喷射热流体，并向基板上表面喷射有机溶剂与干燥气体。 | ||
| 申请公布号 | CN101689491B | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN200880017076.8 | 申请日期 | 2008.05.22 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 郑英周;李福圭;黄善奎;裴正龙;龙秀彬 |
| 分类号 | H01L21/30(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种干燥基板的方法，包括：前阶段，在所述前阶段中，向基板底面喷射热流体以提高该基板的温度，同时向旋转基板的上表面喷射有机溶剂；后阶段，在所述后阶段中，停止喷射所述热流体，并向所述基板的上表面喷射所述有机溶剂，所述后阶段中的基板旋转速度高于所述前阶段中的基板旋转速度。 | ||
| 地址 | 韩国忠淸南道 | ||