蒸镀源、蒸镀装置、有机薄膜的成膜方法

摘要

本发明提供一种能够成膜膜质佳的有机薄膜的蒸镀装置。本发明的蒸镀装置(1)具有蒸发室(15)和蒸镀容器(21)，蒸镀容器(21)和蒸发室(15)由小孔(38)连接。由于每次向蒸发室(15)供给必需的量的蒸镀材料(16)，因而大量的蒸镀材料(16)不会被长时间加热。蒸镀材料(16)在蒸发室(15)蒸发，因而即使发生突沸，液滴也不会到达基板(6)。如果在激光的照射下使蒸镀材料(16)蒸发，那么，蒸镀材料(16)的化学变性少。

主权项

一种蒸镀源，具有：蒸发室，其在内部使蒸镀材料的蒸气蒸发；蒸镀容器，其具有放出所述蒸镀材料的蒸气的放出口；孔，其连接所述蒸镀容器的内部空间和所述蒸发室的内部空间；供给装置，其连接至所述蒸发室，向所述蒸发室的内部供给蒸镀材料；以及加热装置，其加热被供给至所述蒸发室的所述蒸镀材料，并使其蒸发，其中，所述供给装置具有：供给室，其配置在所述蒸发室的上方，配置有所述蒸镀材料；导管，其一端连接至所述供给室，另一端连接至所述蒸发室；旋转轴，其插入并贯通于所述导管；以及旋转装置，其以所述旋转轴的中心轴线为中心而使所述旋转轴旋转，在所述旋转轴的侧面中的比所述导管的下端高的部分，至少到比所述供给室和所述导管的连接部分更上方的位置为止形成有螺旋状的沟，使所述旋转轴旋转并使所述蒸镀材料从所述供给室落下至所述蒸发室内。