一种基于仿生原理的二维精密运动驱动机构

摘要

本发明涉及一种基于仿生原理的二维精密运动驱动机构，属于几何量计量技术领域。其连接关系为：X向压电陶瓷微位移驱动器与Y向压电陶瓷微位移驱动器通过连接支点连接；X向压电陶瓷微位移驱动器与Y向压电陶瓷微位移驱动器的伸缩方向相互垂直，分别负责X向和Y向的运动；X向压电陶瓷微位移驱动器的另一端与前吸盘连接，Y向压电陶瓷微位移驱动器的另一端与后吸盘连接；运动输出支点固连在后吸盘上；其中，所述磁性吸盘的连接关系为：在吸盘磁路中布置永久磁铁及电磁线圈，电磁线圈缠绕在永久磁铁周围；本发明通过前后两个吸盘将X向压电陶瓷微位移驱动器、Y向压电陶瓷微位移驱动器的运动进行矢量叠加，实现了大范围的二维精确运动。

主权项

一种基于仿生原理的二维精密运动驱动机构，其特征在于：包括前吸盘(1)、X向压电陶瓷微位移驱动器(2)、连接支点(3)、Y向压电陶瓷微位移驱动器(4)、后吸盘(5)、运动输出支点(6)、及相应的运动控制器；前吸盘(1)与后吸盘(5)统称为磁性吸盘，磁性吸盘由吸盘磁路(7)、电磁线圈(8)、永久磁铁(9)，软磁导磁平板(10)组成；其连接关系为：X向压电陶瓷微位移驱动器(2)与Y向压电陶瓷微位移驱动器(4)通过连接支点(3)连接；X向压电陶瓷微位移驱动器(2)与Y向压电陶瓷微位移驱动器(4)的伸缩方向相互垂直，分别负责X向和Y向的运动；X向压电陶瓷微位移驱动器(2)的另一端与前吸盘(1)连接，Y向压电陶瓷微位移驱动器(4)的另一端与后吸盘(5)连接；运动输出支点(6)固连在后吸盘(5)上；其中，所述磁性吸盘的连接关系为：在吸盘磁路(7)中布置永久磁铁(9)及电磁线圈(8)，电磁线圈(8)缠绕在永久磁铁(9)周围；电磁线圈(8)的磁场方向与永久磁铁(9)的磁场方向相反。