发明名称 扩散炉的氢氧输入控制装置
摘要 一种扩散炉的氢氧输入控制装置,包括第一电磁阀、第一气动阀和第二气动阀。分别利用第一和第二气动阀来控制氧气和氢气输入扩散炉,第一和第二气动阀的控制端都通过气管与第一电磁阀的输出端连接,第一电磁阀的输入端与压缩空气输入管连接。当第一电磁阀的控制端接收到第一控制信号后第一电磁阀打开,压缩空气经第一电磁阀流入第一和第二气动阀的控制端使第一和第二气动阀同时打开,从而使氧气和氢气同时经扩散炉进气管通入扩散炉,避免氢气通入扩散炉时氧气没有通入,导致扩散炉内氢气过多而不完全燃烧。
申请公布号 CN203007483U 申请公布日期 2013.06.19
申请号 CN201220689016.4 申请日期 2012.12.13
申请人 深圳深爱半导体股份有限公司 发明人 周金廷
分类号 C30B31/16(2006.01)I;C30B31/18(2006.01)I 主分类号 C30B31/16(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 吴平
主权项 一种扩散炉的氢氧输入控制装置,其特征在于,包括:第一电磁阀,所述第一电磁阀的控制端与第一控制信号接入端连接,所述第一电磁阀的输入端与压缩空气输入管连接;第一气动阀,所述第一气动阀的控制端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接,所述第一气动阀的输入端与氧气输入管连接,输出端与扩散炉进气管连接;第二气动阀,所述第二气动阀的控制端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接,所述第二气动阀的输入端与氢气输入管连接,输出端与所述扩散炉进气管连接。
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