微流器件及其制造方法

摘要

本发明提供了微流器件及其制造方法。该微流器件包括：第一基板，其中形成有微流路径以及朝向微流路径突出的阀底座；第二基板，设置为面对第一基板，并且其中形成有对应于阀底座的空腔；以及聚合物膜，设置在第一基板与第二基板之间并包括结合到第一和第二基板的结合单元以及根据空腔的气动力而具有可变形状的可变单元，其中当气动力没有提供给可变单元时可变单元具有曲度并与阀底座间隔开。

主权项

一种微流器件，包括：第一基板，其中形成有微流路径以及朝向所述微流路径突出的阀底座；第二基板，设置为面对所述第一基板，并且其中形成有对应于所述阀底座的空腔；以及聚合物膜，设置在所述第一基板与所述第二基板之间并包括结合到所述第一基板和第二基板的结合单元以及根据所述空腔的气动力而具有可变形状的可变单元，其中当所述气动力没有提供给所述可变单元时所述可变单元具有曲度并与所述阀底座间隔开。