一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置

摘要

本实用新型系提供一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，其系将不锈钢内抛光容器由卡套接管接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器另一端再以卡套衔接所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器内部设置4片气体隔板，厚度3mm，长度150mm，与容器壁间隔50mm，隔板间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在容器内，再焊接达到密封，当两种气体分别由进气管引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器设置的隔板前进，而隔板左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入进气管前充分混合，使溅射沉积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。

主权项

一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，该混合装置有两个制程气体进入口及一个气体引出出口，通过内置气体隔板的设置使气体流通路径变长，而在此路径中两种制程气体充分混合。