无标记异空间基板组装对位方法及系统

摘要

本发明提供一种无标记异空间基板组装对位方法及系统，其包含下列步骤：预定义二基板的标准局部特征区域；分别撷取在不同等待空间的二基板的至少二实际局部图像；分别比对并取得二基板的至少二实际局部特征区域；分别建立二基板的实际坐标系统；比对二基板的实际坐标系统，以取得一组偏移量；分别利用该组偏移量及一预定移动量使二基板由各自的等待空间移动到一对位组装空间中；以及使二基板在对位组装空间中完成堆叠对位组装。

主权项

一种无标记异空间基板组装对位方法，其特征在于，包含步骤：(S01)、在组装前，预先分别撷取一第一基板及一第二基板的至少二标准局部图像，并在各所述基板的标准局部图像中分别预定义一标准局部特征区域以及储存其形状特征数据；(S02)、在组装时，将另一组待对位的第一及第二基板分别放置到二不同等待空间，并分别撷取所述二基板的至少二实际局部图像；(S03)、分别将所述二基板的实际局部图像与其对应的标准局部特征区域的形状特征数据进行比较，以取得各所述实际局部图像中匹配于对应的标准局部特征区域的至少二实际局部特征区域；(S04)、分别利用所述实际局部特征区域的中心坐标来分别建立所述二基板的一实际坐标系统；(S05)、比对所述二基板的实际坐标系统，以取得所述第一基板由其等待空间移动到一对位组装空间所需的X、Y轴方向及旋转角度的一组偏移量△X、△Y、△θ；以及(S06)、利用该组偏移量使所述第一基板移动到所述对位组装空间中的一正确待组装位置，同时使所述第二基板依据一预定移动量移动到所述对位组装空间中的另一正确待组装位置。