发明名称 光罩基板的包装盒
摘要 本实用新型涉及一种光罩基板的包装盒,所述光罩基板的包装盒包括:箱体和N个内盖。所述箱体均匀分成N个容置空间,每个内盖遮盖一个容置空间。其中,N为大于等于2的整数。在本实用新型提供的光罩基板的包装盒均匀分隔成多个容置空间,而且采用内盖形成了多个独立的包装单元,存放在里面的光罩基板之间能够相互隔离,在取用光罩基板过程中也能够避免外部环境中的微尘粒子(Particle)污染光罩基板。
申请公布号 CN203006142U 申请公布日期 2013.06.19
申请号 CN201220748819.2 申请日期 2012.12.31
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 刘靖
分类号 B65D85/48(2006.01)I;B65D81/05(2006.01)I;B65D25/04(2006.01)I 主分类号 B65D85/48(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种光罩基板的包装盒,其特征在于,包括:箱体和N个内盖;其中,所述箱体均匀分成N个容置空间,每个内盖遮盖一个容置空间;其中,N为大于等于2的整数。
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