发明名称 |
光罩基板的包装盒 |
摘要 |
本实用新型涉及一种光罩基板的包装盒,所述光罩基板的包装盒包括:箱体和N个内盖。所述箱体均匀分成N个容置空间,每个内盖遮盖一个容置空间。其中,N为大于等于2的整数。在本实用新型提供的光罩基板的包装盒均匀分隔成多个容置空间,而且采用内盖形成了多个独立的包装单元,存放在里面的光罩基板之间能够相互隔离,在取用光罩基板过程中也能够避免外部环境中的微尘粒子(Particle)污染光罩基板。 |
申请公布号 |
CN203006142U |
申请公布日期 |
2013.06.19 |
申请号 |
CN201220748819.2 |
申请日期 |
2012.12.31 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
刘靖 |
分类号 |
B65D85/48(2006.01)I;B65D81/05(2006.01)I;B65D25/04(2006.01)I |
主分类号 |
B65D85/48(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种光罩基板的包装盒,其特征在于,包括:箱体和N个内盖;其中,所述箱体均匀分成N个容置空间,每个内盖遮盖一个容置空间;其中,N为大于等于2的整数。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |