一种精抽泵机组及具有其的精抽系统

摘要

本实用新型提供了一种精抽泵机组，包括罗茨真空泵，和与罗茨真空泵串联的前级泵；其中，前级泵包括单级旋片真空泵和与单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。上述精抽泵机组，在潮湿工况下，由于双级旋片真空泵不受水蒸气的影响，双级旋片真空泵发挥主要作用，避免了水蒸气对整个精抽泵机组的真空度的影响；双级旋片真空泵与单级旋片真空泵并联，则整个精抽泵机组的抽速为双级旋片真空泵的抽速与单级旋片真空泵的抽速的代数和，提高了整个精抽泵机组的抽速。故本实用新型提供的精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。本实用新型还提供了一种具有上述精抽泵机组的精抽系统。

主权项

一种精抽泵机组，包括罗茨真空泵，和与所述罗茨真空泵串联的前级泵；其特征在于，所述前级泵包括单级旋片真空泵和与所述单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。