一种抑制串扰的影像传感器

摘要

本实用新型涉及一种抑制串扰的影像传感器，包括载片、器件晶圆、光电二极管、高介电层，金属遮蔽层，所述器件晶圆的正面与载片相接触，所述器件晶圆的背面上有一层高介电层，所述金属遮蔽层位于高介电层上，所述金属遮蔽层上设有均匀连续的梯形凹槽，所述光电二极管内嵌于器件晶圆的背面且正对于梯形凹槽的下面，在金属遮蔽层的均匀连续的梯形凹槽的均匀连续的梯形凹槽的两个侧面上和两个凹槽的连接处淀积有一层高消光物质层，所述消光物质层的厚度范围为所述的消光物质层为氮化物，如氮氧化硅（SION），氮化硅(SiN),氮化钛（TiN）,氮化钽（TaN）等。金属遮蔽层上淀积一层消光物质，解决了串扰问题的产生，提高了影像传感器的成像质量。

主权项

一种抑制串扰的影像传感器，包括载片、器件晶圆、光电二极管、高介电层，金属遮蔽层，所述器件晶圆的正面与载片相接触，所述器件晶圆的背面上有一层高介电层，所述金属遮蔽层位于高介电层上，所述金属遮蔽层上设有均匀连续的梯形凹槽，所述光电二极管内嵌于器件晶圆的背面且正对于梯形凹槽的底部，其特征在于：在金属遮蔽层的均匀连续的梯形凹槽的两个侧面上和两个凹槽的连接处淀积有一层高消光物质层。