芯片电性侦测装置及其形成方法

摘要

本发明是一种芯片电性侦测装置及其形成方法，其根据转换基板的特征，决定出一补强结构的结构，并将转换基板、补强结构以及一基板相耦接以形成芯片电性侦测装置。在一实施例中，电性侦测装置包括一基板、一转换基板、一探针模块以及一补强结构。该转换基板的一表面上具有与该基板相耦接的复数个第一导电体，该转换基板的另一表面上具有复数个第二导电体。该探针模块具有分别与该复数个第二导电体电性连接的复数个探针。该补强结构设置于该转换基板与该基板之间。

主权项

一种芯片电性侦测装置，其特征在于，包括：一基板；一转换基板，其具有一第一表面以及与该第一表面相对应的第二表面，该第一表面上具有复数个第一导电体，该复数个第一导电体分别与该基板相耦接，该第二表面上具有复数个第二导电体；一探针模块，其具有复数个探针，该复数个探针分别与该复数个第二导电体电性连接；以及一补强结构，其设置于该转换基板与该基板之间。