一种用于搅拌硅片研磨液的搅拌叶

摘要

本实用新型公开了一种用于搅拌硅片研磨液的搅拌叶，包括搅拌叶本体，所述搅拌叶本体包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接,搅拌时,通过搅拌片边缘的圆弧凸面与搅拌片进行搅拌,形成纵向与横向搅拌，不仅增加了搅拌面积,且改变颗粒物的流向，从而，使研磨液内的颗粒物分散更加均匀，大大提高了硅片的切割质量。

主权项

一种用于搅拌硅片研磨液的搅拌叶，包括搅拌叶本体，其特征在于，所述搅拌叶本体包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接。