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发明名称 Profiles combine block of cleaning apparatus for large area substrate
摘要
申请公布号 KR20130003580(U) 申请公布日期 2013.06.17
申请号 KR20110010879U 申请日期 2011.12.07
申请人 发明人
分类号 B08B3/00;B25B11/00;H01L21/302 主分类号 B08B3/00
代理机构 代理人
主权项
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