| 摘要 |
Der Laborreaktor dient zur Abscheidung von Polysilizium aus einem Prozessgas auf einem Dünnstab (62) aus Silizium, der innerhalb einer Haube (20) zwei Elektroden (34) überbrückt, die in eine Bodenplatte (18) eingesetzt sind. Dabei ist vorgesehen dass die Innenwand (80) der Haube (20) sowie die nach innen weisende Bodenfläche (44) der Bodenplatte (18) mit Silber beschichtet sind und dass auch der den Dünnstab (62) aufnehmende Kopf (56) der beiden Elektroden (34) versilbert ist. |
