| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피처리체를 지지할 때에, 이 이면(하면)에 스크래치나 흠집 등이 생기는 것을 방지하는 것이 가능한 유지체 구조를 제공한다. 피처리체(W)를 유지하기 위한 유지체 구조에 있어서, 피처리체의 하중을 받기 위한 유지체 본체(104)와, 유지체 본체의 상면에 형성된 복수의 오목부형상의 지지체 수용부(106)와, 각 지지체 수용부 내에 수용되고 상단이 유지체 본체의 상면보다도 위쪽으로 돌출되어 상단에서 피처리체의 하면과 맞닿아 지지하면서 지지체 수용부 내에서 회전 가능하게 이루어진 지지체(108)를 구비한다. 이것에 의해, 반도체 웨이퍼 등의 피처리체를 지지할 때에, 이 이면(하면)에 스크래치나 흠집 등이 생기는 것을 방지한다.</p> |
