| 摘要 |
본 발명은 유연 기판 필름을 공급하는 언와인딩롤; 상기 유연 기판 필름의 일면에 ITO를 증착하는 제 1 스퍼터 캐소드; 상기 ITO가 증착된 상기 유연 기판 필름을 안내하면서 냉각하는 제 1 냉각드럼; 상기 제 1 냉각드럼으로부터 안내되는 상기 유연 기판 필름의 방향을 전환하는 제 1 방향 전환롤; 상기 제 1 방향 전환롤에 의해 방향이 전환된 상기 유연 기판 필름에서 상기 ITO가 증착된 일면을 결정화 처리하는 제 1 가열수단; 상기 제 1 가열 수단에 의해서 결정화 처리된 유연 기판 필름의 방향을 전환하는 제 2 방향 전환롤; 상기 제 2 방향 전환롤에 의해 방향이 전환된 상기 플라스틱 필름의 타면에 ITO를 증착시키는 하나 이상의 제 2 스퍼터 캐소드; 상기 플라스틱 필름을 안내하면서 ITO가 증착된 상기 플라스틱 필름의 타면을 냉각하는 제 2 냉각드럼; 상기 제 2 냉각드럼에 의해 안내된 상기 유연 기판 필름의 타면을 결정화 처리하는 제 2 가열 수단; 및 양면에 ITO가 증착된 상기 유연 기판 필름을 감기 위한 와인딩롤;을 포함하는 것을 특징으로 하는 양면 스퍼터링 진공 증착 장치에 관한 것이다. |
