| 摘要 |
<p>본 발명에 의한 그래핀 패턴을 갖는 전자소자의 제조방법은, 촉매층의 표면에 촉매 패턴을 형성하는 단계, 촉매 패턴 위에 그래핀을 형성하는 단계, 촉매층 표면에 접착층의 일면을 결합하여 촉매 패턴 위에 촉매 패턴에 대응하는 형상으로 형성된 그래핀 패턴을 접착층의 일면에 접착하는 단계, 접착층을 촉매층으로부터 분리하여 그래핀 패턴을 접착층으로 전사하는 단계, 접착층에 전사된 그래핀 패턴에 금속이나 유기물을 도핑하여 그래핀 패턴의 일함수를 조정하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 촉매층에 형성된 그래핀 패턴을 접착층을 이용하여 간단하게 박리할 수 있으므로, 그래핀 패턴에 대한 후공정을 현격하게 줄일 수 있어 제품의 생산성을 높일 수 있고, 고가의 촉매층을 재활용함으로써 재료비의 크게 줄일 수 있다.</p> |
