| 摘要 |
<p>본 발명의 화학 기계 연마방법은 제1 연마공정과, 이 제1 연마공정보다 연마속도가 느린 제2 연마공정을 연속해서 행함으로써, 피연마면을 화학 기계적으로 연마하는 것을 포함하고, 상기 제1 연마공정 및 상기 제2 연마공정에서 사용하는 화학 기계 연마용 수계 분산체가 수계 분산체 (I)과 수용액 (II)의 혼합물이고, 상기 제1 연마공정과 상기 제2 연마공정에서 상기 수계 분산체 (I)과 상기 수용액 (II)의 혼합비를 변경함으로써 연마속도를 변경한다.</p> |
