| 摘要 |
<p>본 발명의 접합 시트 첩부 장치는, 기판을 지지하는 첩부 스테이지와, 첩부 스테이지에 의해 지지된 기판의 위쪽에 접합 시트를 공급하는 접합 시트 공급 장치와, 기판의 위쪽에 상하 운동 가능하게 설치되어, 접합 시트 공급 장치에 의해 공급되는 접합 시트를, 기판상에 배치된 복수의 첩부 위치에 순차적으로 압압해서 붙이는 첩부 헤드를 갖춘 첩부 유닛과, 1개의 첩부 위치에 대한 접합 시트의 첩부 동작을 완료시킨 첩부 유닛을, 접합 시트의 첩부 동작이 완료되지 않은 다른 첩부 위치의 위쪽으로 이송하는 이송 장치와, 첩부 유닛이 접합 시트의 첩부 동작을 연속해 실행하고 있는 사이에, 이미 첩부 유닛에 의해 붙여진 접합 시트의 첩부 상태를 검사하는 검사 장치를 구비한다.</p> |
