Integrierte Schaltung und Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltung
摘要
Eine integrierte Schaltung umfasst ein Basiselement (1) und ein Kupferelement (2) über dem Basiselement (1), wobei das Kupferelement (2) eine Dicke von wenigstens 5 µm hat und ein Verhältnis einer mittleren Korngröße zur Dicke kleiner als 0,7 ist.
申请公布号
DE102012111831(A1)
申请公布日期
2013.06.13
申请号
DE201210111831
申请日期
2012.12.05
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
DETZEL, THOMAS;GROSS, JOHANN;ILLING, ROBERT;KRUG, MAXIMILIAN;LANZERSTORFER, SVEN GUSTAV;NELHIEBEL, MICHAEL;ROBL, WERNER;ROGALLI, MICHAEL;WOEHLERT, STEFAN