Magnetische Vorrichtungen und Verfahren zum Herstellen derselben

摘要

Magnetische Vorrichtungen (200) und Verfahren zum Herstellen derselben enthalten eine Stapelstruktur (40; 50) mit zumindest einer magnetischen Schicht (44, 46; 56), die geätzt (12) wird unter Verwendung eines Ätzgases mit zumindest 70 Vol-% von einem Wasserstoffenthaltenden Gas und zumindest 2 Vol-% von CO-Gas.