晶舟、晶舟转移装置以及包括其的晶片转移系统

摘要

本发明提供一种晶舟、晶舟转移装置以及包括其的晶片转移系统，属于半导体晶片的传输转移技术领域。本发明提供的晶舟包括固定在本体的外表面上的相互基本平行设置的撬撑杆和撑挡杆，本发明提供的晶舟转移装置大致为撬杆状并在其端部设置撬钩，在撬撑杆和所述撑挡杆之间设置间隙以使用于转移该晶舟的晶舟转移装置的撬钩方便地作用于所述撬撑杆和撑挡杆上；其中，撬钩的背面作用于撑挡杆上并以该撑挡杆作为支撑点，撬钩的沟槽面抱紧作用于所述撬撑杆上以防止晶舟在传输时滑落。因此，使用该晶舟和晶舟转移装置的晶片转移系统可以方便地将装载有晶片的晶舟提起并转移，晶舟和晶片的破损可能性小，晶片传输转移方便并不易玷污。

主权项

一种晶舟，所述晶舟包括用于装载晶片的本体，其特征在于，还包括固定在所述本体的外表面上的相互基本平行设置的撬撑杆和撑挡杆，所述撬撑杆和所述撑挡杆之间设置间隙以使用于转移该晶舟的晶舟转移装置的撬钩方便地作用于所述撬撑杆和撑挡杆；其中，所述撬钩的背面作用于所述撑挡杆上并以该撑挡杆作为支撑点，所述撬钩的沟槽面抱紧作用于所述撬撑杆上以防止所述晶舟在传输时滑落。