照明光学装置、曝光装置及元件制造方法

摘要

照明光学装置（13）将输出自曝光用光源（12）的曝光用光（EL）导向被照射物体（R）。照明光学装置(13)具备排列成矩阵状的多个空间光调变构件(22)，各空间光调变构件(22)将具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状而分别构成。又，各空间光调变构件中的至少1个配置在从光源输出的光的光路内。

主权项

一种照明光学装置，借由从光源供应的照明光照射被照射面，且与将配置于该被照射面的光罩的图案转印至涂有感光性材料的基板上的曝光装置组合使用，其特征在于，具备：空间光调变构件，由具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状所构成；复眼透镜，具有配置于该光路、二维排列的透镜组件；以及中继光学系，配置于该复眼透镜与该空间光调变构件之间；来自该光源的光经过该复眼透镜、该中继光学系及该空间光调变构件到达照明对象物体。