| 摘要 |
本实用新型提供了一种六氟化硫回收净化处理系统，包括通过管路依次连接的分子筛组、絮状物粉尘过滤装置、无油压缩机、冷凝器、净化处理装置、固化提纯装置，所述净化处理装置包括净化罐、与净化罐通过管道连接的抽真空装置、位于净化罐内部的液氮循环管路，管体上部设有六氟化硫进气口、阀门、下部设有六氟化硫出口；所述液氮循环管路为螺旋形管路上方设有液氮出气口，下方设有液氮进气口；所述六氟化硫进气口内部连接一进气管，所述进气管为一U形管路，U形管路的另一出口位于净化罐的上部罐顶部位。与现有技术相比，本实用新型回收与净化同步进行、净化纯度高、回收率高。 |
