主权项 |
一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置,它包括:线圈(1)、籽晶转盘(2)、籽晶轴(3)、籽晶盘(4)、提拉机械手(5)、籽晶(6)、硅棒(7)、籽晶夹头(8)、提拉定位槽(9)、提拉定位销(10)、放置定位销(11)、设备端(13)、内孔(14)、中孔(15)、水流槽(16)、强化槽孔(20)、放置定位槽(21)、轨道(22)、放置平台(23)构成,其特征在于:提拉机械手(5)与设备端(13)以螺纹相连,籽晶轴(3)头部悬挂并连接在提拉机械手(5)上,提拉定位销(10)与提拉定位槽(9)相对应,进行定位,籽晶轴(3)的尾端用螺母(12)与籽晶盘(4)相连接固定,籽晶盘(4)与三个籽晶夹头(8)用螺钉固定,籽晶(6)安装在籽晶夹头(8)上,线圈(1)的法兰(18)与设备端(13)以螺钉连接,组成高频电回路及冷却水回路,籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端(13)用键和螺母进行定位紧固;所述的线圈(1)正盘面上有斜平面,背盘面上有直角台阶,线圈(1)盘面上有120°均布排列三个内孔(14)和预热的中孔(15),均为通孔,正盘面上的孔面均为斜平面;强化槽孔(20)与中孔(15)相连为通孔,水流槽(16)在线圈(1)内部,与铜管(17)及法兰(18)形成冷却水回路,接地端(19)连接在线圈(1)上,并有一通孔;所述的籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端轴通过键槽相连,籽晶转盘(2)以此轴为中心进行旋转;旋转籽晶转盘(2)盘面上设有轨道(22)及放置平台(23),放置定位槽(21)与籽晶轴(3)上的放置定位销(11)相对应,轨道(22)、放置定位槽(21)为通孔,放置平台(23)为凹槽;所述的籽晶轴(3)头端为台锥体,台锥体的侧面有提拉定位销(10),籽晶轴(3)中端为圆柱体,圆柱体的侧面设有放置定位销(11),籽晶轴(3)尾 端为螺纹结构,通过螺母(12)把籽晶盘(4)固定在籽晶轴(3)上;所述的籽晶盘(4)上有120°均布的三个夹头螺孔(24),用螺钉与籽晶夹头(8)固定;所述的提拉机械手(5)中心通透,顶部有螺孔与设备端(13)固定;底部有通孔为斜面,与籽晶轴(3)头端的台锥体相对应,并设有提拉定位槽(9)。 |