反射板加钼片

摘要

一种降低单晶硅炉能耗的装置。单晶硅炉的耗能主要与单晶炉石墨热场保温性能有关，保温性能好，能耗降低。本实用新型在炉底板上方设双层反射板，并辅以起反射作用的钨钼板；此结构有效的加强了单晶硅炉底部保温，从而降低了晶棒的生产成本，达到了降低能耗的目的。

主权项

单晶硅炉反射板加钼片的装置，主要由炉体、石墨埚、石墨托杆、石英坩埚、加热体和上保温盖、炉底板、侧面保温层及反射板加鉬片所组成，其特征在于：在炉底板上方，加热器的下方，所设的上、下反射板；实现降低能耗的目的。