发明名称 |
一种薄膜晶体管阵列基板、制备方法以及显示装置 |
摘要 |
本发明属于显示技术领域,具体的涉及一种薄膜晶体管阵列基板制备方法、薄膜晶体管阵列基板以及显示装置。一种薄膜晶体管阵列基板制备方法,包括以下步骤:在基板上形成栅电极层、栅极绝缘层、有源层、源漏电极层、钝化层以及像素电极层,其中,所述钝化层通过构图工艺形成包括过孔的结构图案,所述像素电极层通过滴注方式形成在结构图案区域内,所述源漏电极层与所述像素电极层通过过孔连接。该薄膜晶体管阵列基板制备方法,减少了采用构图工艺形成像素电极层的步骤,减少了掩模板的使用量,提高像素电极形成材料的利用率,同时降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN103151305A |
申请公布日期 |
2013.06.12 |
申请号 |
CN201310064170.1 |
申请日期 |
2013.02.28 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
孔祥永;刘晓娣;成军;陈江博 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
罗建民;陈源 |
主权项 |
一种薄膜晶体管阵列基板制备方法,包括以下步骤:在基板上形成栅电极层、栅极绝缘层、有源层、源漏电极层、钝化层以及像素电极层,其特征在于,所述钝化层通过构图工艺形成包括过孔的结构图案,所述像素电极层通过滴注方式形成在结构图案区域内,所述源漏电极层与所述像素电极层通过过孔连接。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |