发明名称 一种薄膜晶体管阵列基板、制备方法以及显示装置
摘要 本发明属于显示技术领域,具体的涉及一种薄膜晶体管阵列基板制备方法、薄膜晶体管阵列基板以及显示装置。一种薄膜晶体管阵列基板制备方法,包括以下步骤:在基板上形成栅电极层、栅极绝缘层、有源层、源漏电极层、钝化层以及像素电极层,其中,所述钝化层通过构图工艺形成包括过孔的结构图案,所述像素电极层通过滴注方式形成在结构图案区域内,所述源漏电极层与所述像素电极层通过过孔连接。该薄膜晶体管阵列基板制备方法,减少了采用构图工艺形成像素电极层的步骤,减少了掩模板的使用量,提高像素电极形成材料的利用率,同时降低了生产成本。
申请公布号 CN103151305A 申请公布日期 2013.06.12
申请号 CN201310064170.1 申请日期 2013.02.28
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 孔祥永;刘晓娣;成军;陈江博
分类号 H01L21/77(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 罗建民;陈源
主权项 一种薄膜晶体管阵列基板制备方法,包括以下步骤:在基板上形成栅电极层、栅极绝缘层、有源层、源漏电极层、钝化层以及像素电极层,其特征在于,所述钝化层通过构图工艺形成包括过孔的结构图案,所述像素电极层通过滴注方式形成在结构图案区域内,所述源漏电极层与所述像素电极层通过过孔连接。
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