用于线卡的光电子组合件

摘要

在一个实施例中，光电子组合件为混合集成电路，所述混合集成电路具有电耦合到对应跨阻抗放大器TIA阵列的雪崩光电二极管APD阵列，其中所述APD及所述TIA两者均安装于共用陶瓷衬底上。所述光电子组合件进一步具有光学子组合件，所述光学子组合件包括阵列波导光栅AWG及转向镜阵列，其两者以并排布置附接到温度控制单元且以倒装芯片方式安装于所述衬底上位于所述APD上方。所述光电子组合件采用插入于所述APD与所述衬底之间的基于硅的子基台来调节所述APD与所述TIA之间的高度差。所述子基台有利地使得能够相对紧密接近于所述转向镜来放置APD，同时提供对所述APD相对于所述衬底的倾斜及偏移距离的良好控制。所述温度控制单元使得能够对所述AWG及所述转向镜阵列进行独立温度控制，此有助于甚至在所述转向镜具有相对小的大小时也实现所述AWG与所述APD之间的良好光学耦合效率。

主权项

一种设备，其包括：支撑结构，其具有平面表面；第一平面衬底，其位于距所述平面表面某一偏移距离处且具有第一光学装置，所述第一光学装置沿所述第一平面衬底的边缘具有第一光学端口阵列；第二平面衬底，其位于距所述平面表面某一偏移距离处且具有一个或一个以上第二光学装置，所述一个或一个以上第二光学装置沿所述第二平面衬底的第二边缘具有第二光学端口，所述第二边缘面向所述第一边缘；第一加热器，其热耦合到所述第一平面衬底；及第二加热器，其热耦合到所述第二平面衬底，其中：所述第一平面衬底具有大致不同于所述第二平面衬底的热膨胀率；且所述第一加热器及所述第二加热器被配置为可单独控制的。