一种快速响应薄膜热电偶温度传感器

摘要

本实用新型公开了一种温度测试响应快、测试精度高的薄膜型热电偶温度传感器。所述快速响应薄膜热电偶温度传感器包括基片，设于基片上的缓冲层，设于缓冲层上的薄膜热电偶及热结点；所述薄膜热电偶包括引线焊盘；薄膜热电偶上除引线焊盘以外的区域和热结点表面设有绝缘保护膜层。绝缘保护膜层的设置保护薄膜热电偶及热结点在测试过程中不受机械损伤和环境冲蚀影响。这种通过溅射沉积绝缘薄膜保护的热电偶，相比较于传统的陶瓷烧结保护膜层的热电偶，具有响应速度快、测试精度高的优势。本实用新型的传感器避免了热结点因烧结保护层的体积大和厚度太厚造成的测试误差和响应速度慢，使传感器的温度测试精度和响应速度得到提高。

主权项

一种快速响应薄膜热电偶温度传感器，包括基片（11），设于基片（11）上的缓冲层（12），设于缓冲层（12）上的薄膜热电偶（13）及热结点（14）；所述薄膜热电偶（13）包括引线焊盘（19）；特征在于，薄膜热电偶（13）上除引线焊盘（19）以外的区域和热结点（14）表面设有绝缘保护膜层（15）。