| 发明名称 | 一种法拉第筒 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种实现低能大面积电子束测量的法拉第筒，包括本体，位于本体上方的前栅网，位于前栅网下方的抑制极栅网，位于本体底部的多个小孔深筒。本实用新型的法拉第筒，前栅网用来屏蔽外场干扰，抑制极栅网用来抑制二次电子，底部小孔深筒用来抑制反射电子对测量的影响，从而实现低能大面积电子束的测量。 | ||
| 申请公布号 | CN202995047U | 申请公布日期 | 2013.06.12 |
| 申请号 | CN201220581672.2 | 申请日期 | 2012.11.07 |
| 申请人 | 北京高能科迪科技有限公司 | 发明人 | 张华顺;赵涛 |
| 分类号 | G01T1/29(2006.01)I | 主分类号 | G01T1/29(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种法拉第筒，其特征在于：包括本体，位于本体上方的前栅网，位于前栅网下方的抑制极栅网，位于本体底部的多个小孔深筒。 | ||
| 地址 | 100088 北京市海淀区紫竹院路广源闸5号299室 | ||