混合块件和CVD系统

摘要

本实用新型的实施例大体上提供一混合块件，该混合块件用于混合多种前驱物及/或清洁剂，该混合块件的优点是维持温度以及改善前驱物、清洁剂或前述二者的混合物的混合效应，而消除基板间的差异，因而提供改善的工艺均匀性。此外，本实用新型还提供了一种CVD系统。

主权项

一种混合块件，其特征在于，所述混合块件包含：主体，所述主体由单独块体的材料形成；一体成形混合结构，所述一体成形混合结构具有第一腔室与第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室被混合构件隔开，其中所述混合构件是所述主体的单一部件；两个前驱物递送通口，所述前驱物递送通口形成于所述主体中并且耦接所述第一腔室；公共出口通口，所述公共出口通口形成于所述主体中并且耦接所述第二腔室；以及至少一个通路，所述通路形成于所述主体中以使温度控制流体得以流过所述主体。