正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法

摘要

本发明提供感度、残余膜率、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法，通过使所述组合物固化可以得到耐热性、粘附性、透射率等优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于含有树脂、分子内具有2个以上环氧基的化合物、以及通过波长为300nm以上的活性光线的照射而产生酸的化合物，其中所述树脂含有通过解离性基解离而生成羧基的特定的苯乙烯系结构单元和具有能够与羧基反应形成共价键的官能团的结构单元，该树脂为碱不溶性或碱难溶性，并且酸解离性基团发生解离时该树脂变为碱溶性。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有（A）树脂和（B）通过活性光线的照射而产生酸的化合物，所述（A）树脂含有下述通式（1）所示的结构单元和具有能够与羧基反应形成共价键的官能团的结构单元，该树脂为碱不溶性或碱难溶性，并且当酸解离性基团解离时该树脂变为碱溶性，其中，所述能够与羧基反应形成共价键的官能团为环氧基或氧杂环丁烷基，通式（1）中，R¹表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基；R²和R³各自独立地表示氢原子、直链状或支链状的烷基，但是排除R²和R³同时为氢原子的情况；R⁴表示可被取代的直链状、支链状或环状的烷基、或者芳烷基；R²或R³可以与R⁴连接而形成环状醚。