一种生长易吸潮单晶体的设备

摘要

本发明公开了一种生长易吸潮单晶体的设备，该设备主要包括上部分炉体和下部分密封室组成，上部分炉体上设有旋转提拉电机、炉盖、提拉杆、控温设备，石英管、炉底、进气设备，下部分密封室内包括支撑杆、调整设备和底座，该密封室通过底座与地面固定。本发明中可以减小气体大范围流动，可以更加方便的调节热场内的温度梯度分布，提高温场热稳定性；密封系统的结构提高了热系统的热效率；石英管底部进气设备，可实现气氛保护和压力控制，或对掺杂气体进行气量的精确控制；底部调整设备可以升降支撑杆的高度；顶部旋转提拉电机可以根据不同要求对籽晶杆、坩埚等设备状态进行设置调整。炉膛顶部预留观测窗，可以实时观察晶体生长状况和坩埚位置。

主权项

一种生长易吸潮单晶体的设备，其特征在于：该设备主要包括上部分炉体（5）和下部分密封室（9）组成，其中，上部分炉体（5）上设有旋转提拉电机（1）、炉盖（2）、提拉杆（3）、控温设备（17），石英管（6）、炉底（8）、进气设备（13），下部分密封室（9）内包括支撑杆（10）、调整设备（11）和底座（15），该密封室（9）通过底座（15）与地面固定，在炉体（5）内中间设置炉膛（16），炉体（5）内的炉膛（16）的外周安装有温区设置的控温设备（17），炉盖（2）紧密扣合在炉体（5）上方，提拉杆（3）穿过炉盖（2）可上下往复运动，提拉杆（3）顶部与旋转提拉电机（1）固定连接，提拉杆（3）下端可拆卸的安装有籽晶或悬挂坩埚（4），支撑杆（10）顶部固定安装有坩埚托（12），石英管（6）固定安装在坩埚托（12）上，炉体（5）内石英管（6）一侧底部连接有进气设备（13），石英管（6）内部底部的坩埚托（12）上放置坩埚，支撑杆（10）、坩埚托（12）和石英管（6）整体穿过炉底（8）中心底部，石英管（6）位于炉膛（16）的中心位置与提拉杆（3）相配合使用，支撑杆（10）和坩埚托（12）位于密封室（9）的中心位置，通过进气设备（13）往石英管（6）中通入干燥气氛，支撑杆（10）的下部设置有调整设备（11）。