压电马达、驱动装置、电子部件检查装置及输送装置

摘要

本发明涉及压电马达、驱动装置、电子部件检查装置及输送装置。在压电马达中，将由压电材料形成并在端部设置有凸部的振动体收纳于振动体壳体，将振动体的凸部连同振动体壳体朝对象物推压，通过使振动体振动而驱动对象物。使将振动体壳体朝基台的滑动部推压的前方侧压弹簧的端面与振动体壳体嵌合，以免振动体壳体因驱动时的反作用力而脱离。

主权项

一种压电马达，其特征在于，该压电马达通过使包含压电材料的振动体振动，并使突出设置于所述振动体的端面的凸部与对象物接触，来使所述对象物移动，其中，所述压电马达具备：振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝所述对象物的方向施力；以及侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。