| 发明名称 | 一种临界尺寸扫描电镜机台 | ||
| 摘要 | 一种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。本实用新型通过设置紧急制动装置，使得临界尺寸扫描电镜机台在支撑台正常退片突发抽气泵跳掉时，支撑台在自动升起过程中紧急制动，减少夹伤晶圆的风险。 | ||
| 申请公布号 | CN202996793U | 申请公布日期 | 2013.06.12 |
| 申请号 | CN201220575933.X | 申请日期 | 2012.11.01 |
| 申请人 | 无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 寇红杰 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 常亮 |
| 主权项 | 一种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，其特征在于：所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 | ||