带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置

摘要

一种带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置，包括：软轴、联轴器、三个螺旋升降机、两个侧驱动箱、中部驱动箱、驱动电机、软轴法兰；软轴法兰固定在侧驱动箱和中部驱动箱的软轴连接端一侧上，软轴法兰内壁夹持固定软轴与联轴器连接端的轴套。本实用新型通过在软轴连接端加装软轴法兰，使软轴的轴套与侧驱动箱、中部驱动箱刚性连接，牢固可靠，提高了带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置的耐用性和安全性。

主权项

1.一种带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置，包括：软轴、联轴器、三个螺旋升降机、两个侧驱动箱、中部驱动箱、驱动电机；三个螺旋升降机的动力输入端一一对应安装在两个侧驱动箱和一中部驱动箱上，螺旋升降机的丝杆输出端与下炉体相连，驱动电机安装固定在中部驱动箱一侧并通过传动装置与中部驱动箱的螺旋升降机相连，三个螺旋升降机通过软轴和联轴器连为一体且形成一个非闭合的环形；其特征在于：带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置还包括软轴法兰，软轴法兰固定在侧驱动箱和中部驱动箱的软轴连接端一侧上，软轴法兰内壁夹持固定软轴与联轴器连接端的轴套。