发明名称 |
花篮式气浮硅片自动分离机构 |
摘要 |
本发明公开了一种花篮式气浮硅片自动分离机构,解决了硅片分离速度低和传送硅片时碎片率高的问题。包括PLC、花篮导轨(1)和花篮(2),在花篮(2)的两侧分别设置有气浮硅片自动分离部件(4),它包括立柱架体(6)、倒T字形连接架(7)、T字形连接架(8)和门字形平躺架(9),T字形连接架(8)可升降;在T字形连接架(8)的横梁上沿水平前后方向分别设置有门字形平躺架体(9)的两个水平竖梁导轨(13),在竖梁导轨(13)上设置有水平方向的横向长条孔实现门字形平躺架(9)在水平方向上的前后移动,在门字形平躺架(9)的横梁通气轴(15)上活动设置有可转动的气浮块(16),实现硅片传送的高效自动化作业。 |
申请公布号 |
CN102299049B |
申请公布日期 |
2013.06.12 |
申请号 |
CN201110216105.7 |
申请日期 |
2011.07.30 |
申请人 |
太原风华信息装备股份有限公司 |
发明人 |
李强;郑海红;李向东;魏海滨;赵建军;张素枝;任剑;朱跃红 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
山西科贝律师事务所 14106 |
代理人 |
陈奇 |
主权项 |
一种花篮式气浮硅片自动分离机构,包括PLC和花篮导轨(1),在花篮导轨(1)上活动设置有花篮(2),花篮(2)包括花篮底座、四组柔性导向同步带部件、活动底板及降料配重板,花篮(2)下方设置有硅片升降机构(3),在花篮(2)上方设置有负压吸取硅片机构(5),其特征在于,在花篮(2)的两侧分别设置有气浮硅片自动分离部件(4),气浮硅片自动分离部件(4)包括立柱架体(6)、倒T字形连接架(7)、T字形连接架(8)和门字形平躺架(9),倒T字形连接架(7)沿上下方向垂直设置在立柱架体(6)的顶端,在T字形连接架(8)的立柱上设置有竖向长条孔(10),第一固定螺钉(11)通过竖向长条孔(10)将T字形连接架(8)沿上下方向垂直固定在倒T字形连接架(7)的上面,通过调节第一固定螺钉(11)在竖向长条孔(10)的位置实现T字形连接架(8)的升起和降下,在T字形连接架(8)的横梁上沿水平前后方向分别设置有门字形平躺架体(9)的两个水平竖梁导轨(13),在竖梁导轨(13)上设置有水平方向的横向长条孔,通过调节第二固定螺钉(14)在横向长条孔中的位置,实现门字形平躺架(9)在水平方向上的前后移动,在门字形平躺架(9)的横梁通气轴(15)上活动设置有可转动的气浮块(16),在横梁通气轴(15)的端部设置有进气孔(17)。 |
地址 |
030024 山西省太原市和平南路115号 |