可双向扭转的交错梳齿静电驱动可变光衰减器及制备方法

摘要

本发明公开了一种可双向扭转的交错梳齿静电驱动可变光衰减器，包括衬底、固定梳齿单元、微镜、活动梳齿单元、两根支杆、绝缘介质层、两根扭转杆、两个活动电极区，两个活动电极区分别与衬底之间固定连接氧化绝缘层，绝缘介质层分别嵌至在两根支杆、两根扭转杆和微镜的中部；两根支杆的一端固定连接在微镜上，另一端通过扭转杆固定连接在活动电极区上；两根支杆上分别固定连接两个且沿支杆对称布置的活动梳齿单元，每个活动梳齿单元中的活动梳齿与固定梳齿单元中的固定梳齿交错布置。该可变光衰减器可实现双向扭转，并可精确控制微镜扭转位置。同时，本发明还公开了该可变光衰减器的制备方法，可靠性高，且加工精度高。

主权项

一种可双向扭转的交错梳齿静电驱动可变光衰减器，其特征在于，该可变光衰减器包括上部设有空腔的衬底（1）、固定连接在衬底（1）空腔中的四个固定梳齿单元（2）、微镜（4）、四个活动梳齿单元（5）、第一支杆（6）、绝缘介质层（7）、第一扭转杆（8）、第二支杆（17）、第二扭转杆（18），以及位于衬底（1）上方的第一活动电极区（3）和第二活动电极区（16），第一活动电极区（3）和第二活动电极区（16）分别与衬底（1）之间固定连接氧化绝缘层（10），绝缘介质层（7）分别嵌至在第一支杆（6）中部、第一扭转杆（8）中部、第二支杆（17）中部、第二扭转杆（18）中部和微镜（4）中部，第一支杆（6）的一端固定连接在微镜（4）上，第一支杆（6）的另一端通过第一扭转杆（8）固定连接在第一活动电极区（3）上，第二支杆（17）的一端固定连接在微镜（4）上，第二支杆（17）的另一端通过第二扭转杆（18）固定连接在第二活动电极区（16）上；第一支杆（6）和第二支杆（17）上分别固定连接两个且沿第一支杆（6）或第二支杆（17）对称布置的活动梳齿单元（5），活动梳齿单元（5）位于固定梳齿单元（2）的上方，且每个活动梳齿单元（5）与一个固定梳齿单元（2）相对应，每个活动梳齿单元（5）中的活动梳齿与该活动梳齿单元（5）相对应的固定梳齿单元（2）中的固定梳齿交错布置；微镜（4）、活动梳齿单元（5）、第一支杆（6）、第二支杆（17）、第一扭转杆（8）和第二扭转杆（18）均处于悬空状态。