多晶硅碱性制绒方法

摘要

本发明提供种一种多晶硅碱性制绒方法，包括：配制碱性腐蚀液，其中NaNO2、NaOH和去离子水的质量比为8：1：50至10：1：50；将多晶硅片放入腐蚀液中制绒，腐蚀液的温度为75至80℃，制绒时间为25至45秒；以去离子水漂洗硅片，漂洗时间约为2分钟；以酸性溶液漂洗硅片，酸性溶液中HCl、HF和去离子水的体积比为1：3：8，漂洗时间为120至150秒；以去离子水再次漂洗硅片，漂洗时间约为2分钟。将硅片烘干。采用本发明提供的制绒方法可降低生产投入、缩短太阳能电池的制作周期、降低生产能耗，且所得到的绒面均匀性好、可降低太阳能电池表面的反射率。

主权项

一种多晶硅碱性制绒方法，其特征在于，包括下述步骤：（1）配制碱性腐蚀液，其中NaNO2、NaOH和去离子水的质量比为8：1：50至10：1：50；（2）将多晶硅片放入腐蚀液中制绒，腐蚀液的温度为75至80℃，制绒时间为25至45秒；（3）以去离子水漂洗硅片，漂洗时间约为2分钟；（4）以酸性溶液漂洗硅片，酸性溶液中HCl、HF和去离子水的体积比为1：3：8，漂洗时间为120至150秒；（5）以去离子水再次漂洗硅片，漂洗时间约为2分钟；（6）将硅片烘干。