提供子束转向的栅格

摘要

与离子束源（102）的放电室耦接的栅格组件（114，300）配置成使从所述放电室发出的离子子束以圆形非对称地确定的转向角转向。所述栅格组件（114、300）包括具有基本上圆形孔图案的至少第一和第二栅格（302、304），其中每个栅格（302、304）包括彼此相邻定位的孔。所述第二栅格（304）的多个孔相对于所述第一栅格（302）中的相应孔偏置定位。由于所述第二栅格（304）中的孔偏置，因此通过偏置孔的离子被朝向下游偏置孔的最接近圆周部分静电吸引。由此，改变通过偏置孔的离子的轨迹。所述子束转向预定非对称角。所述预定转向角取决于孔偏置、施加给栅格（302、304）的电压及栅格（302、304）之间的距离。

主权项

一种方法，包括：以转向角的椭圆形非对称分布从具有基本上椭圆形的孔图案的第一栅格推进多个离子子束。