百叶窗式大面积冷等离子体废气处理装置

摘要

一种百叶窗式大面积冷等离子体废气处理装置，包括等离子壳体，其内腔至少一个横截面内安装若干等离子体发生器，同一横截面各等离子体发生器间沿外缘连接且填满横截面，等离子体发生器垂直壳体进气口，等离子体发生器包括绝缘基座，基座前、后面分别连接气流均布栅，基座内腔左、右板之间由上至下垂直连接若干一端封闭的绝缘介质管，绝缘介质管均设在基座同一横截面内，相邻绝缘介质管封闭端呈左、右交替设置，各绝缘介质管内分别紧配合电极，各电极一端与电极线连接，位于基座左、右侧的电极线分别与高压交流电源高压端、接地端连接。本发明可获得较高气体处理流量，同时能维持高密度大面积等离子体，使放电处于稳定状态，提高处理效率，降低能耗。

主权项

一种百叶窗式大面积冷等离子体废气处理装置，其特征在于：包括等离子壳体(1)，所述等离子壳体(1)上设有进、出气口(18，19)，位于进、出气口(18，19)之间的等离子壳体(1)内腔至少一个横截面内安装有若干个等离子体发生器(2)，位于同一横截面的各等离子体发生器(2)之间沿外缘相互连接且填满该横截面，所述等离子体发生器(2)垂直于等离子壳体(1)的进气口(18)，所述等离子体发生器(2)包括矩形框架基座(3)，所述基座(3)由绝缘材料制成，所述基座(3)的前、后面分别连接气流均布栅(4)，所述气流均布栅(4)上均布有栅孔(5)，所述基座(3)的内腔左、右板之间由上至下垂直连接有若干个一端封闭的绝缘介质管(6)，所述绝缘介质管(6)均匀间隔的设置在基座(3)的同一横截面内，相邻绝缘介质管(6)的封闭端呈左、右交替设置，各所述绝缘介质管(6)内分别紧配合有电极(7)，各所述电极(7)的一端伸出绝缘介质管(6)和基座(3)后分别与电极线一连接，位于基座(3)左侧的电极线一分别与高压交流电源的高压端或接地端连接，位于基座(3)右侧的电极线一分别与高压交流电源的接地端或高压端连接。